随着加工技术的进步与产品小型化的发展要求，微型零件的应用领域越来越广泛，并且对微型零件的材料性能和微型结构的加工质量也提出了很高的要求，这就对微型零件制造工艺提出了更高的要求。在微型零件的加工技术中，特别是结构复杂且尺寸小的微型零件加工中，微细铣削加工技术占有极其重要的地位。但是由于微细铣削系统本身属于刚度较弱的系统，很难实现精密级别的微细铣削加工。在常规尺度铣削过程或者是在非回转刀具的加工过程中，为了改善加工状态，提出在切削过程中施加振动辅助的方法，可以改善加工状态，同样为了改善微细铣削的加工状态，在微细铣削过程施加振动辅助的方法，本文就振动辅助对微细铣削加工性能的影响进行研究。一般在切削过程中施加振动辅助分成刀具振动和工件振动两大类，本文研究的微细铣削的铣刀是采用空气涡轮高速主轴夹持进行微细铣削加工的，故不能在刀具一侧施加振动辅助的效果，所以采用振动辅助工作台的形式，将振动信号施加在工件一侧。本文设计一种非谐振振动辅助系统，该系统其主体基于高精度的微小位移柔性铰链机构的振动辅助工作台，利用压电陶瓷的精确的动态响应性能，实现工件上的精确振动动作，并且配有压电陶瓷控制器、压电陶瓷冷却夹持装置、压电陶瓷的预紧装置和激光三角反射位移传感器等，以便对振动的位移进行精确的控制和检测。本文将非谐振振动辅助系统与精密微细铣削系统两者集成，实现非谐振式振动辅助系统和精密微细铣削系统的兼容，为研究振动辅助技术对微细铣削加工工艺的影响打下良好的基础。本文在对微尺度槽结构进行微细铣削加工和振动辅助微细铣削加工的实验研究中，采用正交实验的方法，对微细铣削参数中的每齿进给量，以及振动信号的参数即振动频率和振幅对槽结构的表面粗糙度和面型精度的影响进行研究，实验证明在微细铣削过程中施加振动辅助可以有效的改善槽结构的表面粗糙度和面型精度，并且对振动信号的加入对微细铣削力的影响情况和振动信号对刀具磨损的影响情况进行了简要分析可知，施加振动辅助信号可以减小每个切削周期内的平均切削力，并且降低刀具的磨损速度。