MoS_2(C/Cr/Ti)复合薄膜的制备及摩擦学性能研究

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MoS_2薄膜在真空或惰性气体中具有较低的摩擦系数,使得其在设备和机械加工中得到广泛应用,但由于纯MoS_2薄膜易氧化,无法在潮湿环境中使用,且耐磨性差,无法长时间保持良好的润滑性,因此限制了 MoS_2薄膜使用范围的扩展。尽管通过掺杂异质元素来改善纯MoS_2薄膜的性能己经取得了许多成果,但目前对于改性MoS_2薄膜的研究较多的局限于单一组分掺杂,对于系统研究多组分掺杂的MoS_2复合薄膜结构和性能的研究却鲜有报道。本文研究是在继续保留发挥一种掺杂元素积极作用的同时,通过掺杂多种元素形成多元复合薄
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