静电驱动之微型环的稳定性分析

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【摘要】

：

微机电系统（MEMS）是一种典型的多学科交叉的新兴高技术产业，已引起了世界各国的高度重视，并成为竞相争夺的技术制高点之一。目前，静电驱动微结构力学研究主要集中在微梁、板的变形求解，本文首次提出微型圆环在单点移动的静电力作用下的动态性分析与稳定性分析，并研究对比了微型圆环在单点移动直流与交流偏压作用下的不同特性。在理论推导方面首先求得微结构承受驱动电压时非线性偏微分方程式，基于微小变形的假设，将非线

【作者】

：

叶秀倩

【机构】

：

烟台大学

【发表日期】

：

2012年04期

【关键词】

：

静电驱动 MEMS 微型环稳定性移动力

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