光的干涉测量已成为光学检测的一个重要分支。光的干涉技术在光学系统、光学元件的各种检测方法中,是公认最有效、最准确的方法之一,在光学测量中有着极其重要的地位。干涉仪是以光的干涉技术为基础的检测仪器,具有和被测物非接触的特性,可以快速、灵敏、精确、无损地获得被测信息。本论文研究的泰曼格林干涉仪是其中重要的一种,在光学测量中被广泛运用。因此,对干涉技术的研究和干涉仪的改进,有着极为重要的现实意义。本课题是和南京英特飞光电技术有限公司合作设立的。目的是分析和研究原有干涉仪中存在的问题及不完善之处,运用新的技术与方法,对现有干涉仪进行更新优化。论文在分析干涉仪光学系统结构、干涉图像产生原理以及干涉图像处理中关键技术的基础上,提出了总体技术的优化方案。采用了网络高清摄像机获取干涉图像的方法,并成功运用于系统中。研制了用于光学系统调整和移相测试的系统控制器,设计和分析了微处理器模块、控制电压输出模块、电机驱动模块、数据通讯模块和键盘接口模块等硬件电路。最后编制了相关嵌入式软件,实现了对干涉仪的控制。在研究干涉仪测试流程的基础上,运用LabVIEW开发平台,使用G语言编写了上位机测试软件,成功实现了对干涉仪的控制和干涉图像的采集、处理及其测试结果的显示。研制的软硬件系统在南京英特飞光电技术有限公司干涉仪测试实验室进行了现场测试,以验证系统的稳定性及测试结果的准确性。测试结果表明：系统性能稳定,结果准确,满足科研任务书要求。现研制的系统已成功应用于产品中。