扫描式干涉仪结构设计

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在工业发展飞速的当下,自动化已经是制造业前进的必经之路。而光学仪器作为工业生产的“眼睛”,其成像质量至关重要,这就要求光学仪器的镜片的面形质量精度要达到标准。光学车间中镜片已是大批量生产,但是车间检测镜片的干涉仪只能在镜片取下盘后单片检测。本文在了解当前仍存在大量成盘加工镜片工艺后,在实验组原有的实验基础上提出在盘检测的干涉仪方案。其目的就是为了做到在盘检测镜片,提高检测效率。对不合格产品可以进行二次加工以提高良品率。在分析了当前在盘加工工艺后,发现市面上干涉仪之所以无法做到全盘检测主要的原因是检测口径受限。因此本文提出两种扫描式结构,从内部结构出发的基于振镜驱使激光光束偏转的扫描式结构;从外部结构出发的基于磨具盘倾斜的扫描式结构。考虑到干涉仪对环境稳定要求高,选择后者作为主要研究对象。倾斜后磨具盘偏移的球心通过二维平移台平移调整回原球心位置即可实现检测区域的移动。在此基础上添加了旋转结构,以此实现360°旋转扫描。并通过推导给出了球心水平平移量和垂直平移量的计算公式,为后续的自动控制奠定基础。经分析研究可以确认基于磨具盘旋转的扫描结构能够适用于大部分镜片在线全盘检测,检测效率大大提高。
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