IC制造的日益趋小化和集成化导致了IC测试成本的不断提高。探针测试技术目前已经成为了IC产品性能测试的重要方式之一。而探针在测试过程中与IC接触,从而导致探针内部弹簧、接触针头和针管的磨损引起探针失效,为此,针对微探针的性能与寿命评估,本文研发出了一种微探针性能与寿命自动测试系统,具有自动化程度高、速度快和测量精度高的特点。主要研究工作包括：1.构建了能对微探针性能与寿命进行自动测试的实验系统,该系统能实现压缩过程中对微探针电阻的高精度测试和对微探针压力的精确测试。通过自主设计的测试治具,该系统还能完成小于或等于7x8阵列探针的测试和单个探针的测试。2.基于虚拟仪器开发软件LabVIEW,采用模块化理念开发并集成了运动控制程序和数据采集程序,实现了系统的精准控制和自动测试,并美化人机控制界面。3.研究了探针的测试速度和压缩位移对探针性能的影响,发现压缩位移是影响探针电阻和接触压力的主要因素,随着压缩位移的增大,探针电阻会随之减小,当压缩位移达到0.3mm以后,探针电阻基本维持稳定；而探针接触压力与压缩位移成线性增长的关系。测试速度对探针电阻和压力的影响微乎其微。4.对探针寿命进行自动测试,发现不同探针有不同的寿命,有些探针电阻在5万次以后就开始出现较大的波动,有些探针则有将近20万次的寿命,但是探针压力的变化趋势都一样,随着测试次数的增加而缓慢减小。总之,该系统集成了运动控制和数据采集,能高速、高效和高精准的实现探针性能的自动测试和对探针寿命的评估,具有一定的理论意义和实用价值。图54幅,表10个,参考文献55篇