微阵列结构是一种较为常见的微结构,出现在许多设备的核心元器件上,并发挥着重要作用。微细电火花成形加工可以利用阵列电极实现阵列结构的批量加工,在阵列结构加工领域扮演着重要角色,但以往的加工方法存在加工结构简单、阵列电极安装定位困难等问题。为解决上述问题,本文采用微铣削与微细电火花组合加工的方式。本文探讨了两种加工工艺组合的可行性。基于工艺特性分析的基础,在实验室现有的微细电火花铣床上搭建了组合加工平台,针对阵列微结构的微铣削和微细电火花组合加工平台。为了研究抬刀工艺在微阵列结构微细电火花加工中的作用,仿真分析了微阵列结构电火花加工过程中抬刀工艺对工作液间隙流场流速、压强和电蚀产物运动的影响规律。通过仿真发现,抬刀辅助加工可以实现工作液的更新和电蚀产物排出。为了保证微阵列电极的加工精度,本文进行了石墨材料微阵列结构的微细铣削加工工艺实验研究,分析了铣削加工参数对石墨电极精度和表面质量的影响规律,然后,通过实验分析了逐层加工法和逐个加工法两种加工方法对阵列电极一致性的影响规律。为获得高质量的微阵列结构,本文利用微细铣削加工工艺制备的微细阵列电极开展了微阵列结构的微细电火花加工工艺研究,实验分析了阵列电极数量、抬刀工艺对微阵结构精度和表面质量的影响规律,验证了流场仿真和工艺方法的有效性。