AMHS系统(自动化物料搬送系统)对于提升300mm半导体工厂的生产效率和缩短产品的生产周期等方面起着关键作用。尤其是对于实现了生产设备与设备之间自动搬送的全自动化300mm半导体工厂:一个高效的AMHS系统可以大幅缩短在制品的等待时间,从而缩短晶圆产品的生产周期。因此,越来越多的半导体制造厂更加重视AMHS系统的控制策略。本文从AMHS系统的历史演变过程开始,详细的分析了AMHS系统地构成结构和各子系统间的控制方式的特点。在此基础上介绍了评估AMHS系统效率的三种指标,并重点分析了其中的关键性搬送效率指标:AMHS系统的平均搬送时间。在进行搬送效率指标分析的时候,使用了分解的方法得出改善AMHS系统搬送性能的两个控制逻辑策略。并结合实际工作的经验介绍了针对这两个控制逻辑策略的应用方法。除此之外,本文还介绍了使用AutoMod仿真软件进行AMHS系统仿真建模的方法和所依据的半导体行业SEMI标准及SEMATECH的系统模型。最后,本文根据国内某300mm半导体工厂的仿真实例介绍了系统仿真的方法和步骤。本文作者参考了其在半导体行业的多年工作经验和国际业界的标准及研究成果,可作为国内同业人士在进行AMHS系统前期选型和后期效率提升上的参考。