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近红外光谱仪是一种非接触、无需样品前处理,可定性、定量检测物质组分与含量的重要检测装备。论文针对高性能、低成本微型近红外光谱仪的迫切需求,开展具有分光、扫描与角度传感功能的MOEMS集成扫描光栅微镜设计与实验研究,具有重要的科学意义与应用需求。论文针对MOEMS扫描光栅微镜的光栅衍射效率、微镜扫描精度控制与光谱准确采集等关键技术问题,提出了一种将闪耀光栅、扫描微镜与角传感器一体化三维集成的MOEMS扫描光栅微镜新结构;研究了闪耀光栅、MOEMS扫描微镜驱动和角传感器的相关理论;分析了影响闪耀光栅分辨