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超材料是指由亚波长尺寸结构单元周期性排列而成的人工电磁材料。伴随着太赫兹(Terahertz,THz)技术和微纳加工技术的快速发展,基于超材料的多种功能器件如:EIT谐振器、吸波器、偏振器等被成功应用于太赫兹技术领域。基于超材料结构的电磁感应透明(Electromagnetically Induced Transparency,EIT)现象因极大地简化了量子领域实现EIT所需的苛刻实验条件而引起了研究人员的广泛关注。本文针对实际研究中在太赫兹波段基于互补超材料结构EIT现象研究较少这一现状作了进一步完善。此外,还研究了基于新型超材料重掺杂硅的太赫兹吸波器,在太赫兹领域的探测、成像方面具有重要的应用。本论文共分三部分,具体内容如下:(1)研究了激光直写技术制备太赫兹波器件的相关工艺。主要工作包括匀胶工艺、激光直写技术及磁控溅射金属镀膜基本原理,详细介绍了Micro Lab:SVG-4A100激光直写系统的操作流程及原理。(2)利用有限元算法(FEM)对由两个槽型失谐谐振器(Slot Resonators,SRs)组成的互补超材料单窗口EIT谐振器进行了仿真分析,在0.625THz处出现了一个典型的透明窗口。同时研究了在SRs谐振器之间引入Gap谐振器形成全新的双窗口EIT现象,该现象是因为Gap谐振器的引入诱导产生额外光学路径之间的相消干涉而产生。改变Gap谐振器和SRs谐振器之间相对中心的纵向偏移量可以实现对双窗口EIT的调控,这在传感器、THz集成器件及等离子开关等方面具有重要应用。(3)设计并制备了两组基于重掺杂硅的太赫兹完美吸波器。由重掺杂硅衬底层,SiO2薄膜中间层及顶层金属Cu结构叠加形成一维(1D)条形阵列和二维(2D)十字形阵列的吸波器结构单元。研究了THz偏振方向对1D和2D吸波器的影响。经反射式太赫兹时域光谱系统(THz-TDS)测试,实验测量结果与仿真结果一致,在0.4~1.5THz范围内,两组吸波器的吸收率都高于96%。本文所制备的吸波器因表现出的高效吸波性及加工方式的简洁性,使其在THz领域有着广泛的应用前景。