锆钛酸铅镧铁电薄膜的制备及微细加工

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【摘要】

：

锆钛酸铅镧(PLZT)具有良好的铁电介电和光学性能，在铁电存储器(FRAM)、动态随机存储器(DRAM)等方面应用前景广阔。本文旨在采用Sol-Gel法，制备出具有良好铁电介电和光学性能的PLZT薄膜，并采用新技术获得PLZT薄膜的微细图形。采用FT-IR、TEM、改进的sawyer-tower电路、LCR数字电桥等手段，分别探讨了稳定溶胶的成膜机理、热处理条件对薄膜晶相转变的影响以及不同工艺参数

【作者】

：

杜泽惠

【机构】

：

西安理工大学

【发表日期】

：

2003年03期

【关键词】

：

PLZT 溶胶-凝胶热处理铁电介电微细加工

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