【摘 要】
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纳米介孔氧化硅材料是近年来出现的新材料,其显著特点是具有规则排列、大小均匀的纳米孔道结构及纳米级颗粒形貌、高的比表面积及大的吸附容量,在催化、吸附与分离、纳米材料
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纳米介孔氧化硅材料是近年来出现的新材料,其显著特点是具有规则排列、大小均匀的纳米孔道结构及纳米级颗粒形貌、高的比表面积及大的吸附容量,在催化、吸附与分离、纳米材料组装及生物化学等众多领域将具有广泛的应用前景.在当前对介孔材料的研究方兴未艾的情况下,本论文提出了利用纳米介孔氧化硅粉体作为化学机械抛光磨料的想法,通过对普通纳米介孔氧化硅粉体和适合化学机械抛光的纳米介孔氧化硅粉体的合成、纳米介孔氧化硅为磨料的化学机械抛光液的制备以及抛光性能评价等方面的研究.
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