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随着仪器精密程度的不断提高,外部环境的振动噪声对仪器精度的影响越来越大,隔微振技术已经成为限制仪器精度进一步提升的瓶颈。因此,作为超精密测量/测试仪器和超精密加工设备的核心技术之一,研发先进的超低频隔微振技术与装置迫在眉睫。大科学工程中的若干系统,例如引力波探测、暗物质探测、强磁场和脉冲星形成研究等均需要一个良好的低振动环境保障。其中,引力波探测的主要困难在于被测信号与环境振动噪声相比,显得特别微弱,因此对环境振动的隔离提出了非常高的要求,特别是地面振动的影响。单摆作为最简单的水平隔振系统,是激光干