多晶硅还原炉内温度场模拟

来源 :中国矿业大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:binzhi0du
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
改良西门子法是目前大部分国内外企业采用的生产工艺,在实际生产过程中,多晶硅还原炉中发生反应产生的还原能耗占多晶硅生产总能耗的60%左右,而在还原炉反应过程中主要损失的能耗是沉积反应之后尾气带出的小部分热量、炉内混合物料气体的对流换热所损失的热量,以及硅棒和还原炉筒体壁面的辐射传热,其中硅棒和还原炉筒体壁面的辐射传热能耗损失占还原炉总能耗的75%-90%,可见如何降低辐射传热这部分的能耗损失是降低生产过程中总能耗的关键。本文利用多晶硅生产厂家提供的12对和24对硅棒还原炉的图纸建立模型,运用模拟软件Fluent对建立好的两种还原炉模型进行数值模拟,分别探究了不同进气流量、不同硅棒直径,共12组工况下对炉内温度场和流场的影响以及还原炉内辐射能量的传递情况,得出在不同参数下,炉内温度场和流场的变化情况,也进一步分析哪种炉型对辐射能量的利用效率更高,更节能,这些研究都能够为多晶硅还原生产稳定、节能降耗,多晶硅品质的改善和提高以及工业生产为何追求高硅棒对数还原炉提供理论依据。模拟结果表明:1)在12对硅棒和24对硅棒还原炉中,高进气流量工况下,炉内温度场的平均温度会更高一些,硅棒附近的物料气体流速也会更快,促进了新旧物料的更替,有利于硅棒表面气相沉积反应的进行。2)当硅棒直径由8mm增加至130mm的过程中,硅棒总体积占炉内体积的比重增大,气体流动的空间缩小,物料气体的流速就会增加,同时硅棒直径的增加也使硅棒的反应面积、传热面积增大,使得炉内更宜达到最佳反应温度,也使得炉内温度场分布更均匀。3)两种炉型相比,24对硅棒还原炉的底盘进出气口排布较12对硅棒还原炉更对称,能够更充分使物料气体和各圈硅棒充分接触,整体流动路径是由进气口向上喷入,向四周扩散,到达炉体封头区域逐渐向中间回流,呈现出“喷泉式”图像。4)24对硅棒还原炉的3圈硅棒的排布结构,较12对硅棒的两圈排布结构,可以使各圈硅棒之间的辐射能量可以交互利用,有效减少了壁面夹套换热管带走的热量,这样就可以更好地提高了炉内辐射能量的利用效率,因此,得出的结论是24对硅棒还原炉比12对硅棒还原炉更节能。5)还原炉内壁发射率ε越小,还原炉内硅棒的辐射能就会越小,当内壁材料的发射率很低时,其反射能力变强,可将硅棒辐射至壁面的热量反射回炉内,使得内部热量相对集中,减少了热量损失,有效地降低了还原过程的电耗。
其他文献
目的评价显微根尖手术治疗39例慢性根尖周炎病例的临床疗效。方法对39例慢性根尖周炎病例进行显微根尖手术治疗,包括在牙科手术显微镜下借助显微外科器械对患牙进行根尖刮治
个人所得税是我国税收体系中的一个重要税种,税收收入逐年增加。个人所得税属于直接税,和每个人的生活密切相关。工资薪金收入占个人所得税的50%,随着经济的发展,全年一次性
隐喻连贯一直是语言学界的热门研究对象之一,隐喻与连贯两者的交叉为语篇分析开辟了一个新的研究方向,即分析隐喻在语篇连贯中的方式和作用。在其发展过程中,语言学学者贡献
按照党中央确定的全面深化改革和全面依法治国的总目标,最高人民检察院为全面落实十八大、十九大部署的司法体制改革任务,在其制定、下发的《2018—2022年检察改革工作规划》(下
报纸
目的思考地塞米松联合心得安对甲状腺功能亢进症疾病的治疗效果。方法抽取2013年4月至2018年4月本院诊治的100例甲状腺功能亢进症患者,随机分为A组50例、B组50例。其中A组使
"科硕门"事件给中西医临床医学专业大学生的升学、就业前景蒙上了阴影。在此背景下,运用SWOT分析法,从优势、劣势、机会和挑战四个方面对"科硕门"后中西医临床医学专业大学生
<正>传统的细菌鉴定是一个复杂的过程。当病人疑似细菌感染时,临床医生需要收集其流行病学信息、症状和体征,并及时采集病人样本(如血液、尿液、痰等)送微生物实验室进行验证性
在党的历史上,认识和处理好不同历史阶段的社会主要矛盾,始终是我们党的首要工作和任务。党的十九大明确提出新时代我国社会主要矛盾发生了新变化,因而对党和政府的工作提出
本文以毕业创作傩戏为主题,从创作主题的确立与内容的构思出发,到造型形象、色彩和自由空间的绘画手法着重入手,借鉴和学习夏加尔作品,解读主观绘画形式表达心理感触。探讨如
在保持和改变船舶航向的过程中船舶舵机发挥关键效力,其性能的优劣对海上航行船舶的安全性和经济性起着至关重要的作用。在舵机系统研究方法中数字仿真实验和船舶模型实验均