氟化类金刚石薄膜的微观结构及性能研究

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氟化类金刚石薄膜(FDLC)是基于传统类金刚石膜的基础上发展起来的一种改性材料,该膜具有许多比金刚石薄膜更加良好的性能,因此引起了人们的极大关注。深入研究掺氟量以及工艺条件改变对FDLC薄膜性能的影响有很重要的现实意义。本文采用等离子体增强化学气相沉积法在抛光的硅片和玻璃片上制备了氟化类金刚石薄膜,反应气体选用CF_4、CH_4和Ar,并对制备的薄膜进行了退火处理。利用椭偏仪测量薄膜的厚度,用俄歇能谱、FTIR光谱、Raman光谱分析薄膜成分含量及键结构,用接触角测量仪测量薄膜与液
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