连续无掩膜光刻与一种新型的热回流技术用于微透镜阵列成型

来源 :中国科学技术大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：epwangke96

【摘要】

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【作者】

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邱金峰

【出处】

：

中国科学技术大学

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

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数字微反射镜器件微透镜阵列连续无掩膜光刻空间限制热回流聚甲基二硅氧烷

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