本课题由国家自然科学基金项目“小功率微波微等离子体的研究”(批准号：61072007)资助。小功率平面微带微波微等离子体是一项基于微波和微电子以及微等离子体的高新技术。在1830年左右,微等离子体开始被人们认知,到了二十世纪微等离子体的概念才逐渐被人们建立。而电感耦合微等离子体(inductively coupled plasma,简称ICP)是基于平面微带基片产生的,由于其体积微小,结构简单,所需激发功率小,易于重复实现,工作状态稳定等特点,因而在MEMS杀菌消毒、小尺寸材料处理以及微化学分析系统、粒子探测等方面有广泛的应用前景。本文采用陶瓷作为介质基片的平面螺旋电感谐振器,通过电感耦合方式激励微波微等离子体,在不同的气体(空气和氩气)、不同磁场(360G、990G和2840G)加载条件下,对激发出的微波微等离子体的输入功率、光谱图、谐振频率、S参量以及温度特性和电磁兼容性等进行实验研究和分析,获得了其在不同的条件下表现出的激励和维持特性。研究结果表明：不同的工作气体(空气和氩气)对点亮和维持微波微等离子体所需的输入功率差距比较大,同时对光谱特性影响也比较大。而谐振频率在所有的实验中,分布规律较为一致和稳定。而不同的磁场及磁场方向对微波微等离子体的激励也具有一定的影响。实验表明,与空气条件相比,氩气条件下点亮、维持和熄灭微波微等离子体所需要的输入功率更低。氩气条件下磁场方向对微等离子体点亮和熄灭功率也具有一定的影响。同时,磁场对电磁辐射几乎无影响。空气和氩气微等离子体都不对平面螺旋电感谐振器构成腐蚀。