YBa2Cu3O7-δ(YBCO)作为最早被发现的转变温度高于液氮温度的超导体,自发现以来备受关注。高质量的超薄YBCO薄膜对研究高温超导机制以及发展基于YBCO的超导场效应晶体管等意义重大。然而,时至今日,能满足超导场效应晶体管的超薄YBCO薄膜仍需要进一步研究。针对这一状况,本论文主要研究如何在SrTiO3单晶上生长高质量的YBCO薄膜以及如何通过界面/表面调控进一步提高薄膜的性能。1.探索利用脉冲激光沉积技术生长高质量超薄YBCO薄膜。通过系统地研究生长温度、氧化氛围、后退火等条件对YBCO薄膜的影响,发现氧气和一氧化二氮的混合气体条件可以生长出高质量的超薄YBCO薄膜。在此条件下得到的超薄YBCO薄膜表面平整且表面起伏在一个纳米以内。2.研究了对超薄YBCO薄膜的界面/表面调控。首先,我们研究了 SrTiO3基片不同终止面对YBCO薄膜的影响,发现不同终止面并没有改变YBCO薄膜的性质。其次,我们研究不同覆盖层对YBCO薄膜的影响。这些覆盖层有La2CuO4、La1.56Sr0.44CuO4、La1.85Sr0.15CuO4、LaMnO3、La0.67Ca0.33MnO3、PrBa2Cu3O7-δ(PBCO)、LaAlO3 和 SrTiO3,发现不同材料的覆盖层对YBCO薄膜都有正面调控使得YBCO薄膜的超导性能变得更好,其中PBCO对YBCO薄膜调控效果最好,La0.67Ca0.33MnO3调控效果最差。这些研究为开发基于YBCO的超导场效应晶体管打下良好的基础。