零部件表面的微沟槽结构使得其工作表面具有附加的光学、物理、机械等功能特性。微沟槽结构在微小切削刀具、新能源电池、微细工具电极、MEMS器件、微型模具等领域拥有良好的应用前景。磨料电化学射流加工是一种新型的特种加工方法,它利用磨粒冲蚀和电化学阳极溶解的共同作用来蚀除金属材料,具有加工成本低、蚀除效率高、加工表面质量好等优点。本文采用该方法在不锈钢表面进行了微沟槽加工试验研究。首先,搭建了试验装置,对增压系统、控制系统、电源系统、喷射系统等进行了选型设计,选取了耐磨性、耐腐蚀性比较好的液压驱动隔膜计量泵作为供压装置,配合脉动阻尼器、微直径宝石喷嘴的使用,实现了微液束磨料电化学射流的高压输出。其次,对比了磨料水射流加工、电化学射流加工以及磨料电化学射流加工的材料去除机理,介绍了他们的材料去除模型。利用流场仿真软件Fluent以及多物理场仿真软件COMSOL分别进行了射流流场、射流电场分析,探讨了磨粒冲蚀、电化学阳极溶解条件下金属材料的蚀除规律。最后,在不锈钢表面进行了微沟槽加工基础试验。选择加工电压、加工间隙、束流压力、磨粒浓度、电解液浓度这五个工艺参数进行了单因素试验,通过金相显微镜观测了微沟槽表面形貌,利用三维形貌仪检测了截面轮廓和表面粗糙度,分析了各工艺参数对微沟槽深宽比、材料去除效率以及加工表面粗糙度的影响,并尝试加工了若干复杂图案的表面微沟槽。