三维分支结构GaN纳米线的制备及场发射性能研究

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氮化镓(GaN)属于Ⅲ-Ⅴ族直接带隙半导体,且禁带宽度为3.4eV,具有小的电子亲和势(2.7-3.3eV)、高熔点(1700℃)、低功函数(4.1eV)等优异特点,因此它是一种优异的场发射阴极材料,通常可用于制造场发射器件。GaN纳米材料比GaN块体材料具有更好的物理化学性质,为了进一步提高GaN纳米结构的场发射性能,我们制备了不同条件下三维分支结构GaN纳米线,并对样品的生长机理、晶体结构及场发射性能进行了研究。
  本文用两步生长法通过化学气相沉积法(CVD)在水平管式炉中制备了三维分支结构GaN纳米线,并对样品进行表征测试。首先,研究了温度和氨化时间对制备三维分支结构GaN纳米线的影响,发现仅当温度为1030℃,氨化时间为15min时,制备出分支较均匀的GaN纳米线,分支长度约为500nm;其次,我们对形貌好的三维分支结构GaN纳米线进行了表征,XRD测试结果表明,样品为六方纤锌矿结构;TEM测试结果表明,主干沿着(0001)方向生长,分支沿径向外延生长于主干的六个侧面;EDS测试结果表明,样品具有较高的纯度;场发射测试表明,样品的开启电场为2.35V/μm(0.01mA/cm2)、场增强因子为2938,其场发射性能相比于常规GaN纳米线、一些特殊形貌的GaN纳米线及其他材料分支结构纳米线的要好。因此,三维分支结构GaN纳米线将在场发射器件应用领域有很大潜力。
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