用于PDP的Zn2+掺杂MgO薄膜制备与研究

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相比液晶显示器件(LCD),等离子显示(PDP)具有宽视角、高亮度、全彩色、大尺寸、响应速度快、色彩还原性好等优点,在大尺寸(50〞+)高端显示市场中占据非常重要的地位。在PDP研究生产过程中,也存在着产品生产成本较高,发光效率低,中小尺寸PDP显示器件无法满足高清晰度和高分辨率的要求。解决以上问题需要从材料、制作工艺、后期面板结构设计以及驱动电路设计等方面进行改良。在AC-PDP中,放电材料介质保护层直接与放电气体接触,其材料成分、制作工艺、性能优劣等对于AC-PDP的生产成本、提高显示器件的发光效率从而降低整机功耗、优化电路设计以及改善气体放电性能有着至关重要的作用。目前国内外的研究主要集中在对MgO放电材料进行掺杂改性上。由于ZnO具有低于MgO的功函数,故而放电材料掺入Zn2+离子有可能提高薄膜的二次电子发射效率,进而提高气体发光效率,降低整机功耗。而采用溶胶-凝胶(sol-gel)工艺能够获得掺杂比例严格的的掺杂薄膜。本课题采用溶胶-凝胶工艺制备Zn2+掺杂MgO薄膜,并对其结构与放电特性进行分析。主要实验方案及相关结论如下:1.采用硝酸镁为镁元素的前驱物,醋酸锌作为掺杂材料的前驱物,无水乙醇作为溶剂,火棉胶作为表面活性剂,按照一定比例混合并搅拌均匀,静置陈化制备成溶胶,通过旋转涂覆镀膜和高温退火处理的方式,制备成Zn2+掺杂MgO薄膜,研究不同溶胶比例,不同退火温度以及掺杂量改变条件下,薄膜的结晶情况、表面形貌、光电特性。2.当火棉胶与无水乙醇体积比为3:7时,制备的溶胶比较稳定,并且经过成膜处理后,薄膜表面平整,致密性最好。薄膜在500℃时出现结晶态,随着退火温度的增加,薄膜(200)面择优取向比较明显。进一步提高退火温度时,在600℃时出现氧化镁(220)面的衍射峰。通过对薄膜厚度的测试可知,经过退火处理后,掺杂浓度对薄膜的厚度影响非常小,单次制备的薄膜厚度在25nm左右,工艺重复进行十次,制得的薄膜厚度在250nm左右;通过控制旋涂次数,可获得所需厚度的薄膜样品。对薄膜光学透过率的分析可知,薄膜掺杂比例对透过率的影响较小制备厚度约150nm的薄膜,可见光范围内平均透过率在85%以上;N2氛围下的透过率高于空气氛围下退火得到的透过率3.研究制备了PDP模拟放电单元模块,进行了气体放电性能测试。不同掺杂比例的模拟放电单元具有不同的着火电压,不同压强下最小着火电压多分布于掺杂比为10%的曲线上。在30torr气体压强下,混合气体成分Xe(5%)+Ne(85%),掺杂比例为10%时,最低着火电压与纯净MgO制备的放电单元最低着火电压相比,降低了3.48%。本实验的研究结果,对AC-PDP放电材料的选择以及工艺参数的优化具有-定的指导和借鉴意义。
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