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该文采用Nd:YAG激光器的三倍频和四倍频输出,波长为355nm和266nm的偏振紫外脉冲激光,通过扫描法和点曝光法,在聚酰亚胺薄膜表面制备了激光诱导周期性表面微结构(LIPSS),线条的方向平行于偏振激光的电场方向.采用扫描法,能够实现大面积的条纹制备,对LIPSS的应用具有重要意义.我们详细研究了紫外激光在聚酰亚胺表面制备LIPSS的各种影响因素.