【摘 要】
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该文利用射频等离子体增强化学气相沉积、脉冲多弧离子镀和脉冲激光沉积等方法在钛合金和单晶硅基体表面沉积了含氢非晶碳、含氢含硅非晶碳和非晶纯碳等类金刚石（DLC）薄膜,并用
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该文利用射频等离子体增强化学气相沉积、脉冲多弧离子镀和脉冲激光沉积等方法在钛合金和单晶硅基体表面沉积了含氢非晶碳、含氢含硅非晶碳和非晶纯碳等类金刚石（DLC）薄膜,并用Raman、IR、XPS、AES、AFM、纳米压入、划痕、滑动摩擦、微动磨损和纳米划痕等手段评价了这些薄膜的结构和性能,并重点地研究了薄膜的纳米力学行为.
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