改良西门子法是我国目前生产多晶硅的主要方法，其生产过程广泛涉及到氯硅烷精馏操作，由于多晶硅产品纯度高，要求原料氯硅烷中的杂质含量极低，而硼、磷等杂质在氯硅烷中的存在形式的多样性，导致氯硅烷精馏工艺具有高回流比和高能耗。针对该问题，本文在现有提纯节能工艺的基础上，提出了多晶硅生产的三氯氢硅新型高效精馏节能提纯工艺，采用Aspen Plus等软件进行模拟，并结合氯硅烷物系精馏的特点，进行了新型的多孔精馏填料工业化应用研究，同时开发出了适用于大规模工业化生产的高效差压热耦合精馏技术，使多晶硅精馏能耗在原有基础上降低近一半。主要的研究内容和结果如下：　　（1）新型多孔精馏填料工业化应用研究　　通过和BX型金属丝网填料在工业装置中的运行测试对比，考察了新型多孔精馏填料在三氯氢硅精馏中的除硼、磷能力，结果表明，在气相因子F＜1.3时，新型多孔精馏填料的压降较低；在气相因子F＞1.9时，新型多孔精馏填料的压降较高，而当F因子在1.6以下时，传质效率最高；杂质B在新型多孔精馏塔顶和塔釜的含量和BX型金属丝网塔的含量基本相当，而杂质P在新型多孔精馏塔塔顶的含量比BX型金属丝网塔含量低，新型多孔精馏填料的提纯效果略优于金属丝网填料；通过实验研究，达到同等B、P除杂效果时，BX型丝网填料塔的最佳回流量约为1 m3/h，而新型多孔精馏塔的最佳回流量约为0.85 m3/h，计算得到新型多孔精馏填料的运行费用可降低10.63％。　　（2）开发出了适用于工业化应用的高效差压热耦合精馏技术　　利用专业化工流程模拟软件，对提纯塔进行了模拟及工艺优化，开发出适用工业化生产的高效差压热耦合精馏技术，并将差压热耦合精馏技术、氯硅烷精馏大型化技术、先进自动控制方案等技术集成起来，在规模化多晶硅生产中进行应用，经过对比分析，该技术可满足多晶硅产品质量要求，同时可使运行费用降低47.7%，效益显著。