多孔氧化铝型标准漏孔可控制作研究

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真空技术在科学研究领域和工业生产领域发挥着十分重要的作用。由于泄漏的存在导致真空系统不能长时间保持理想的真空度是真空技术应用中存在的最大问题。真空计量技术中一项十分重要的内容是真空标准漏孔的研制。然而现有的标准漏孔存在漏率不确定,泄漏尺寸不可控,流动状态复杂等缺点,大大限制了真空计量技术的发展。研究具有可控的流动尺寸、流态和流导的标准漏孔近年来也成为真空技术中的一个较为热门的研究领域。针对上述传统标准漏孔制作中存在的问题,本文提出了一种通过二次选择镀膜方法,在多孔氧化铝薄膜上进行薄膜沉积从而获得特定
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