论文部分内容阅读
氮化铬(CrN_x)薄膜和非晶态氮化碳(a-CN_x)薄膜具有良好的机械性能,被广泛应用作切削刀具、生物医学工程以及微机电系统(MEMS)等领域的耐磨涂层。另外,由于温度变化和机械振动,纳动普遍存在于MEMS中,并已成为导致MEMS失效的重要损伤形式之一。因此,研究CrN_x薄膜和a-CN_x薄膜的纳动特性具有十分重要的意义。本文首先利用纳米压痕仪,系统研究了CrN_x薄膜及a-CN_x薄膜径向纳动力～位移曲线的动态变化过程,进而利用扫描电子显微镜(SEM)、激光共焦显微镜(LCSM)等设