本文简要介绍了四氟化碳的物理和化学性质及其应用，四氟化碳反应粗气的组成及其物化参数。重点分析了四氟化碳粗气纯化的工艺原理，提出了产品纯化的工艺方法、含氟废水的处理和循环利用方案和产品的分析方法。设计了生产工艺流程，该流程由四氟化碳淋洗净化系统、冷冻除水系统、硅胶和5A分子筛吸附系统和精馏系统组成。进行了KOH淋洗器、冷冻除水器、硅胶和5A分子筛吸附塔、CF4换热器及低、高沸点精馏塔的工艺计算，并确定了工艺运行参数，并考虑了生产过程的腐蚀和安全性问题。在此基础上，根据设计数据建立了年产100吨的四氟化碳生产线，并进行了调试运行。 试验表明：所采用的工艺流程是合理的，各工艺参数受控；主要试验设备满足生产要求；所确定和采用的工艺参数是基本合适的；能够较稳定的拿出2NCF4产品。特别是含氟废水的循环利用不仅提高了原料的利用效率，更重要的是避免了废水的排放，保护了环境。但在试运行过程中粗气体中的C2F6、C3F8的杂质在异常增大，影响了系统的稳定运行，为此将已有的两个高、低沸点精馏塔串接，并利用了现存的1.5m3液化器去除N2、O2等轻组分杂质，这就稳定了工艺运行，同时将四氟化碳产品的纯度提高到了99.9％以上。通过试验，探索出一套较合理的工艺参数，为四氟化碳的规模化生产提供了技术支持。 由于电子气市场对四氟化碳气体的纯度的需求不断提高，将2N四氟化碳生产线改进为生产4N的生产线以满足市场的需求。在认真总结和分析已有四氟化碳生产技术的基础上，确定影响4N产品的主要杂质是CO2、N2、O2及水分等。为此，进行了5A和13X分子筛吸附CO2和水分的工艺试验，取得了工艺运行参数，为4N产品的生产奠定了技术基础。由于液化器去除N2、O2等轻组分杂质的缺陷和不足，对低浓度的N2、O2杂质的分离能力有限，改用一套全新的精馏系统来彻底分离产品中的N2、O2等轻组分杂质是必要的。通过采用大型计算机CAD软件AspenPlus模拟和计算精馏的流程及高、低沸点精馏塔的运行参数、主要构件的计算、取消了液化器系统，达到了优化生产流程的目的，简化和稳定了工艺系统的运行，确保四氟化碳产品的纯度达到99.99％以上。按照以上技术方案进行了生产线的改造，顺利拿出了4N的四氟化碳产品，满足了市场需求，提升了产品品质，实现了产品的高附加值。