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在常温下，材料表面存在着大量各种类型的缺陷，它们对于材料的表面状态和表面形成过程都有极大的影响，特别是在现代电子器件加工过程中，其影响是不可忽视的。表面检测是晶圆制造工艺中的重要组成部分。检测技术是现代信息社会的重要技术基础之一，随着现代光学技术的发展，光学检测技术也越来越多地应用于各种表面检测领域。
本论文旨在提出一种利用偏振光来检测光滑导电材料表面缺陷的方法，并设计制作了利用LED光源的实验验证系统。本论文的主要工作：
1、详细讨论了获得圆偏振光的方法。
2、利用菲涅耳公式详细推导了导体表面上的圆偏振光反射结果。
3、设计制作了利用LED光源的实验验证系统。
4、通过实验对上述方法进行了验证。