在MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems)工艺中,硅各向异性腐蚀技术是其中的一项核心工艺。随着MEMS CAD技术的广泛发展,如何利用计算机模拟硅的各向异性腐蚀过程已经引起专业人士的广泛关注。计算机模拟硅的各向异性腐蚀技术经常采用的两种模型为几何模型和元胞自动机模型。基于几何模型的硅各向异性腐蚀的计算机模拟虽然具有算法简单、比较直观的特点,但是其三维处理能力不强并且腐蚀结果不够精确。因此,本论文中采用元胞自动机模型实现了对硅各向异性腐蚀过程的计算机模拟,并结合OpenGL (Open Graphics Library)技术对腐蚀结果进行绘制。本论文的主要工作包括以下几方面：(1)系统的研究分析了元胞自动机模型在硅各向异性腐蚀模拟中的应用,提出了一种基于元胞自动机模型的硅各向异性腐蚀模拟的建模方法；(2)针对已经实现的计算机模拟所存在的内存受限的问题,提出了面向内存受限的硅各向异性腐蚀模拟的解决方法,通过实现内存空间的动态分配与释放解决了内存不足以及内存浪费严重的问题。(3)提出了将基于GPU (Graphic Processing Unit)的通用计算与基于元胞自动机模型的硅各向异性腐蚀模拟相结合的实现方法,通过将硅各向异性腐蚀模拟在GPU端实现,达到了缩短计算机模拟时间的目的。基于元胞自动机模型下的硅各向异性腐蚀的计算机模拟,具有三维处理能力强和腐蚀结果精确的优点,而通过对其进行优化改进,使得硅各向异性腐蚀过程的计算机模拟通用行更强,限制性更低。