随着微机电系统(MEMS)的飞速发展,超精、微细加工技术成为目前迅速发展、最富活力的加工技术,并且是现代制造技术的一个重要发展方向。微细电火花线切割加工技术是实现超精、微细加工行之有效的方法之一,以其独特的加工方法及较高的性价比得到了迅速的发展,并在许多微型机械生产领域发挥了重要的作用。微齿轮是MEMS中一种重要的微机械传动构件,主要用于传递动力和运动,具有极大的商业和应用价值。基于微齿轮和普通齿轮之间存在的区别,本文首先介绍两者在尺寸、加工方法和力学性能方面的差异,随后建立微齿轮齿廓的渐开线简化数学模型,并推导至二维空间的任意位置。为方便设计不同参数的微齿轮,其参数化的建模是必需的,同时在此基础上设计一个外圆尺寸为1.5mm的2K-H型微型行星轮系。本文利用微细电火花线切割加工技术,进行微小齿轮的加工工艺实验研究。针对开路电压、伺服参考电压系数、电容、电流、进给速度和丝速等加工参数对微齿轮齿廓精度的影响进行分析。在工艺实验的基础之上,初步提出一种微小齿轮微细电火花线切割加工精度评价方法。最后,介绍微齿轮加工的一般过程。MEMS传动部分所需的微齿轮结构是多种多样的,鉴于此,本文将MWEDM与MEDM中的分层铣削技术和微细孔加工技术相结合,力求加工出多种具有复杂结构的微齿轮构件,包括外圆尺寸为1.5mm的微型行星轮系、带轴齿轮(单面带轴微齿轮和双面带轴微齿轮)、轴上分别带键和键槽的微齿轮,以期能更好的满足MEMS的传动要求。