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本课题是国家自然科学重点基金项目(编号:50235010)之子课题:激光多普勒面内振动测试系统的研发。当前所进行的基于面内振动模态的超声电机研究需要进行定子面内振动模态测试,并且其他类型的超声电机也经常需要检查是否出现了不需要的面内振动模态而导致效率低下。Polytec公司的3-D激光测振设备可用于超声电机定子面内振动模态的测试,但价格非常昂贵。因此基于以上情况,本文主要的研究内容和工作如下:1.在分析超声电机定子所用的面内振动模态的基础上,利用