【摘 要】
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光开关在目前全光网络的发展中起着举足轻重的作用,本论文的主要工作是从环氧基紫外负型光刻胶SU-8 2005这种聚合物材料(以下简称SU-8)出发,分别设计制作了热光开关和电光开
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光开关在目前全光网络的发展中起着举足轻重的作用,本论文的主要工作是从环氧基紫外负型光刻胶SU-8 2005这种聚合物材料(以下简称SU-8)出发,分别设计制作了热光开关和电光开关,主要工作如下:1对负型光刻胶SU-8材料进行一系列表征并对其工艺参数进行探索。利用这种紫外可交联的材料设计并成功制作出了1×N系列的多模干涉型(MMI)分束器。2利用紫外可交联的SU-8聚合物材料,设计并制作了一个2×2的MMI-MZI型热光开关。测试得出该光开关的开关功率是7.5mW,开关时间约为0.4ms。然后我们又对光开关的结构进行了改进,增大MMI区域尺寸和调制区两波导之间的间距,改进后的开关功率降至6.9mW。3采用不同的电光材料设计了三种电光开关,经过分析选择第三种方案进行试验,通过在SU-8中掺入生色团分散红一(DR1),我们自主合成了DR1/SU-8这种电光材料,结合设计方案我们成功的制作出了电光开关。分别测试得到100KHz、500KHz、1MHz和2MHz的方波信号的响应以及5MHz和10MHz的正弦波响应。测试结果显示开关的上升下降时间分别是36.68ns和66.69ns。
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