【摘 要】
：
对微器件系统进行高精度测量的增长需求引起了微/纳测量技术的快速发展。传统的三坐标测量机（CMM）由于测量系统的局限性往往只能测量微米或者亚微米级别的器件。作为三坐标测量机最重要的部分，探头的精度能否达到纳米级别决定着整体三坐标测量机的精度级别。本论文提出了一种适用于纳米三坐标测量机的新型高精度接触模拟式探头。该探头基于DVD激光读取头、Michelson干涉仪工作原理。探头构成元件包括带有红宝石球
论文部分内容阅读
对微器件系统进行高精度测量的增长需求引起了微/纳测量技术的快速发展。传统的三坐标测量机（CMM）由于测量系统的局限性往往只能测量微米或者亚微米级别的器件。作为三坐标测量机最重要的部分，探头的精度能否达到纳米级别决定着整体三坐标测量机的精度级别。本论文提出了一种适用于纳米三坐标测量机的新型高精度接触模拟式探头。该探头基于DVD激光读取头、Michelson干涉仪工作原理。探头构成元件包括带有红宝石球头的测杆、悬浮机构和内部感测传感器。测杆固定在十字架中心位置，十字架通过四抓型簧片悬浮机构与探头
其他文献
国内现有的微加速度计产品大都是中低精度的，存在工作频带过窄、灵敏度低、横向干扰明显等共性问题，严重制约了该产品的实际应用领域，目前微加速度计的设计采用常规微机电系统(Micro Electro Mechanical System，MEMS)设计方法，在结构设计方面缺乏有效的创新设计理论和方法指导，存在经验设计和直觉设计的问题。连续体结构拓扑理论位于产品结构设计的初始概念层次，是近年来新兴的设计理念
随着现代运动技术的发展，时间因素在竞技比赛中起着越来越重要的作用，心理学、生理学等相关领域对全身反应时的研究也比较广泛，但目前国内销售的仪器都是简单反应时测试仪，能够测试出全身反应时的仪器还没有，简单反应时测试仪器的测试范围和测试数据的精确度都存在着各种不足。为了突破现有仪器测试范围的局限，同时摆脱传统的测试方法，方便心理学、体质测试等相关领域的研究与应用，我将参考反应时的测试方法借用纵跳来研究全
大型轴类零件作为重大工程装备的核心构件之一，其生产、运行过程中缺陷的及时发现并处理对提高产品质量，保证设备安全、高效、可靠地运行起着关键性的作用；当前主要靠人工手动超声波探伤方法，该方法对操作人员依赖性太大，弊端诸多，影响了大型轴类件的生产效率及使用的可靠性。本文研制了可实现大型轴类件的全轴径向探伤的大型轴类件的超声波自动探伤设备的整体控制系统，可有效解决这些问题，提高其生产效率及可靠性。在运动控
计算机技术和互联网的快速发展，为信息管理系统的发展和完善不断提供着新的技术手段，同时，伴随着技术及社会生产力的发展，信息管理的方式也不断地迈向信息化和网络化，推动着信息技术在管理信息系统开发的应用。近年来，天文望远镜技术不断突破，天文学得到很大的发展，越来越多的专家学者及天文爱好者希望能简单、方便地操作天文望远镜，实时观看天文奇观。为此，本文利用现有网络资源、望远镜资源，建立了基于B/S模式的望远
扫描探针显微镜(scanning probe microscope，SPM)作为推动纳米技术发展的基础，近年来在纳米制造、材料加工、生物医学等领域得到了广泛的应用。然而，在对宽带高精度的SPM技术需求日益迫切的同时，其操作速度和定位精度却成为制约SPM技术商业化应用的主要因素。由于SPM系统复杂的结构和较强的非线性特征，现有的SPM控制方法在宽带高速操作中难以消除定位误差。本文针对SPM操作速度慢
随着现代计量科学的发展，传统线纹测量所采用的人眼对线瞄准、手工记录以及数据处理等方法早以落伍。利用CCD图象处理技术结合计算机数据采集处理可以让线纹测量更加精确、高效、实用。计量部门必须顺应社会主义市场经济的发展要求，适应信息时代技术发展节奏，提高线纹测量技术水平。本文结合华南中心现有的技术水平，对线纹快速测量技术的开发与实现进行研究。本文首先结合长度线纹测量描述了计量工作的背景和意义，研究了CC
“流量”作为重要的热工参数，在工程测量中被密切关注。为达到在生产、贸易过程中对流量值进行准确测量的目的，数量众多、结构、原理各异的流量计安装在不同的生产现场，监测、记录着管道内、明渠中不同流质的流量变化，为生产过程控制、贸易结算和能源计量等提供准确而重要的数据。但由于客观条件，很多流量仪表无法经拆卸后从工作现场送到相关机构实验室进行检定。对于这类仪表，由于缺少使用中的周期性检定，无法考察其运行质量
为了研究大电流下的滑动电极的烧蚀现象，设计了一种具有自主知识产权的小型烧蚀装置。该装置具有尺寸小、拆装方便、能够调节电极接触压力、能够控制和测量电极接触电压与电流等功能。利用该装置对三种滑动电极进行了烧蚀实验，分别是纯铝电极、铝合金电极、铝合金表面镀铟电极(利用电刷镀技术在铝合金电极表面刷镀了一层厚度为50μm的金属铟镀层)，试验中的固定电极为纯铜，实验电流为110~150kA，接触压力为0.25
电化学工作站是用于电化学体系检测和分析的科学仪器，在电化学研究领域起着重要作用。虽然国内外已经存在多种系列的成熟产品，但多数价格合理的产品性能欠佳，而中高端产品价格昂贵，更重要的是这些产品都无法实现与其他设备联用，因此进行电化学工作站的自主研发具有一定的意义。电化学工作站由上位机软件系统和下位机硬件设备组成，本文阐述了上位机软件系统的完整开发过程，设计了上位机与下位机的通信协议。整个软件系统被划分
随着经济的高速发展和人们日益提升的生活水平,我国对能源的需求越来越大,然而在大量消耗煤炭、石油之后,环境污染问题随之显现。在这时天然气作为一种清洁、高效的能源逐渐被人们所重视。而天然气结算的主要计量器具——燃气表的需求量也随着天然气的广泛使用而迅速增长,检验燃气表是否合格是燃气表投入使用的先决条件,所以燃气表检定工作也随之受到人们的重视。长期以来,计量技术机构开展计量检定工作时一直严格按照计量检定