【摘 要】
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近年来,随着光学领域的飞速发展,单晶硅作为应用最广泛的红外光学材料,在红外光学系统中的地位越来越重要。本文针对Φ24mm的单晶硅透镜,以计算机控制光学表面成形技术以及Pr
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近年来,随着光学领域的飞速发展,单晶硅作为应用最广泛的红外光学材料,在红外光学系统中的地位越来越重要。本文针对Φ24mm的单晶硅透镜,以计算机控制光学表面成形技术以及Preston理论为基础,通过反复多次的对比实验研究和检测分析,提出高效、快捷的加工工艺流程,设计了符合硅透镜参数要求的夹具,解决了单晶硅透镜很难控制中心偏差的加工技术难题,并实现了小批量生产。经过轮廓检测仪和Zygo干涉仪检测,单晶硅透镜非球面面型精度能够达到0.2μm,表面光洁度达到Ⅲ级以上,中心偏差小于1μm,各项参数均满足红外光学系统的要求。
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