毫米测量范围纳米几何特征尺寸计量标准装置关键技术研究

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准确的纳米几何特征尺寸测量是提高集成电路等微纳技术产品质量和性能的关键技术支撑,为了得到准确一致的测量结果,必须在国家层面建立纳米几何量值源头并建立纳米计量量值传递体系。为此,世界上主要工业发达国家都在大力建设纳米几何量计量标准装置。相比而言,我国纳米计量技术研究严重滞后、计量标准装置和标准物质几乎为空白,这导致了我国纳米量值溯源至国外。当前对纳米几何量计量提出的最重要挑战之一是:测量范围从几十微米增加到几十毫米,同时所要求的测量不确定度仍为纳米级。因此,迫切需要实现在毫米测量范围内实现纳米几何特征
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