随着现代制造朝着高精密方向发展,满足一般实验和生产条件下的低成本、方便实用的高精密位移计量测试手段和测量传感器面临紧迫的需求。本文研究一种基于双光栅干涉原理位移传感器。由于衍射干涉的采用,该传感器具有大量程、高分辨率与高精度,同时由于是双光栅干涉,其结构简单、紧凑,具有良好的稳定性和抗环境干扰能力,因而适合一般实验和生产条件下高精密位移测量需要。本文对双光栅干涉进行了深入研究,导出了双光栅干涉位移测量的基本原理,在此基础上,完成了双光栅干涉位移传感器系统的设计,包括机械系统设计和信号处理电路设计,并构建了系统实验装置,该装置由半导体激光器、双光栅干涉单元、位移导向机构、干涉条纹光电接收与信号处理电路、计数细分与位移数显单元等,其设计测量范围达15mm,分辨力达0.01μm。论文对影响系统精度特性的主要因素,包括机械、光学、电气因素进行了分析。最后,利用建构的实验装置,对系统进行了测试实验。初步实验结果显示系统易于实现良好的精度特性和稳定性,能满足一般实验和生产条件下高精密位移测量需要。