微细电火花加工采用非接触放电方式去除材料,其加工表面不受宏观力影响。针对加工高硬度和高强度金属材料,微细电火花加工被认为是最有前景的加工方式之一。对于微细电火花加工,深微孔和微槽加工仍然是微细加工领域的难点。由于微细电加工中放电能量较低,放电间隙在几微米到几十微米之间,导致加工中切屑排出不畅。这将引起加工过程不稳定以及电极损耗程度增高,并且加工精度降低。本论文中为了分析影响微细电火花微孔加工效率和电极损耗的主要因素,对放电参数极间电压、电流、脉宽、频率进行正交试验。结果表明放电频率对于材料去除率起主要作用,电压主要影响电极损耗比。针对辅助工艺参数抬刀时间间隔、抬刀高度和电极转速分别进行试验,三者在提升加工效率方面有明显作用,同时发现抬刀频率还影响微孔圆度。此外AlSiC和06Cr19Ni10对比试验中,发现材料熔点越低加工表面越粗糙,热导率越高微孔边缘越光滑。对微孔加工流场进行仿真,分析电极旋转和电极摇动对间隙流场运动的影响,并且进行深微孔加工试验验证。结果表明旋转电极底部存在横向和纵向速度梯度,电极摇动形成非对称流场,有助于切屑排出。同时,试验表明电极摇动具有大深径比微孔加工能力。最后对微孔和微槽电加工工艺进行探索,采用削边电极和合理层数的电极摇动可有效降低微孔锥度;综合利用定长补偿方式和优化加工路径,可以显著降低微槽侧边和底面残切高度。