Ti/Al和Ti/SiO<,2>/Al/SiO<,2>软X射线光学多层膜的结构与热稳定性研究

被引量 : 3次 | 上传用户：yukon_hawk

【摘要】

：

基于Parratt循环光学理论和软X射线光学多层膜的选材原则,设计了应用在18 nm附近的Ti/Al软X射线光学多层膜(Λ=9.25 nm,Γ=0.3,N=20)。用磁控溅射法制备了溅射气压为0.5 Pa和2.0 Pa的Ti/Al多层膜,并对它们的结构和热稳定性进行了研究。Ti/Al多层膜的结构和热稳定性是溅射气压的函数,低溅射气压(0.5 Pa)下制备的多层膜具有相对高质量、有序的结晶层,具有相

【作者】

：

田维

【机构】

：

天津大学

【发表日期】

：

2008年08期

【关键词】

：

Ti/Al软X射线光学多层膜溅射气压微结构热稳定性 SiO2嵌入层

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

其他文献

认证与认可领域内实施ISO14001环境管理体系的应用技术和方法探讨

随着经济的快速发展，环境问题日益突显。出于环境的压力、竞争的需要、法规的要求和可持续发展的呼声，各类组织都越来越重视自己的环境绩效和外在形象。IS014001环境管理体系作

学位

环境管理体系合格评定环境绩效认证组织

隧道开挖扰动下地下管线可靠性分析方法研究

地下空间的利用在二十一世纪仍将继续形成高潮，地下工程施工过程中管线的可靠性问题是城市现代化建设中的一个亟待解决的关键性技术问题。隧道开挖会破坏隧道周围土体的内力平

学位

地下管线管线变形隧道施工地表沉降可靠性分析

基于数据驱动模型的突发水污染预警技术与应急管理研究

随着经济的发展和工业化进程的加快,我国面临着越来越突出的水安全问题,由于化学品泄露或蓄意行为导致的水污染事件是目前威胁我国水安全的重要来源之一。近年来发生的多起水污染事件不仅危害人民群众的生命和财产安全,造成严重的社会影响,在后续修复过程中还耗费了大量的资金。因此,基于对自动监测数据的分析实现自动异常预警和在突发水污染事件发生后及时基于风险评估为下游提供风险预警信息具有重要意义。在此背景下,本论文

学位

突发水污染预警风险评估异常检测

移动支付中免密支付的主要风险及对策

随着移动支付市场规模的不断扩大,在日常生活中小额免密免签功得到广泛应用,但免密支付存在诸多支付安全隐患.目前市场上常用的免密支付功能存在诸多问题,通过分析免密支付中

期刊

移动支付免密支付风险及对策

偷吃的小老鼠

鼠妈妈放在桌上的饼干被偷吃了,小老鼠们都承认是自己偷吃的.请你帮鼠妈妈看看,它们分别偷吃的是哪一块饼干,然后用笔连起来吧.

期刊

面向尾气排放控制的北京市机动车行驶周期研究

本文在分析总结国内外行驶周期相关研究的基础上，根据现有实验条件，确定了机动车行驶周期的实验设计方法。通过GPS全球定位系统与OEM车载尾气检测设备的结合使用，在北京市进

学位

车载尾气全球定位系统行驶周期排放因子

涡流空气分级机结构与分级性能研究

涡流空气分级机是粉体制备行业中非常重要的设备之一，通过分级除去粉体原料或半成品中过大或过小的颗粒，控制产品的粒度在一定的范围之内，从而保证粉体颗粒粒度分布满足产品的质

学位

涡流空气分级机机械打散激光多普勒测速仪流场特性分级性能

尿毒症透析的并发症有哪些?

血液透析为重要延长尿毒症患者生存期限的手段,但受基础疾病和临床操作等多因素影响,在治疗期间,极易诱导多种并发症发生.如失衡综合征、空气栓塞、管道内凝血等.掌握并发症

期刊

新型无卤可膨胀石墨的制备及其阻燃材料的开发

可膨胀石墨(Expandable Graphite,简称EG)不但保持了石墨优异的理化性质,而且由于插入物质与石墨碳层的相互作用而呈现出独特的物理与化学特性而倍受关注。作为典型物理膨胀

学位

可膨胀石墨硝酸盐含磷化合物阻燃剂

蓝藻藻蓝蛋白细胞工程体内重组

藻胆蛋白是蓝藻中的捕光蛋白，其生物合成的重要一步是藻胆色素与脱辅基蛋白的连接。大多数藻胆色素的正确连接都需要结合位点专一和对色素的构象有选择性的裂合酶来催化完成。

学位

蓝藻藻蓝蛋白细胞工程裂合酶CpeS体内重组

Ti/Al和Ti/SiO<,2>/Al/SiO<,2>软X射线光学多层膜的结构与热稳定性研究

与本文相关的学术论文