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该文首先进行了压电马达的理论分析,建立了马达驱动的动力学模型,采用修正的龙格—库塔数值计算法对微分方程组进行求解,确定了马达压电振子的边界条件.然后,根据马达振子的简化力学模型,用有限元分析软件对压电振子进行建模.在压电马达机构和电学分析的基础上,设计了专门用于驻波压电马达驱动的高频压电陶瓷驱动电源.最后,设计该压压电直线马达的实验样机和实验硬件系统,编写实验测试软件,并进行了实验研究.