激光增材制造技术是一种自下而上的材料累加制造方法,能够实现具有轻量化结构、复合化性能的零部件的制造。激光增材制造过程中,由于其特殊的凝固过程,使得沉积层容易形成粗大的柱状晶。振镜激光增材制造技术有利于改善激光增材制造的特殊温度场循环,进而改善沉积层的晶粒形态,减少粗大柱状晶的产生。本文采用振镜激光工艺制备了Inconel 625镍基合金试样,以静止光束试样作为对比试样,分析不同激光扫描速度、激光能量以及激光扫描振幅对沉积层的宏观成形以及沉积层侧壁成形精度的影响。在微观组织分析中,研究了不同激光能量、激光扫描速度以及激光能量输入模式对沉积层微观组织形貌、晶粒结构与力学性能的影响。研究结果表明:振镜激光工艺能够明显改善沉积层侧壁的成形精度,振镜激光工艺能够使得沉积层的最小加工余量与侧壁表面粗糙度得到减小。在宏观成形方面,减小激光能量会使得层宽变小,而加大激光扫描振幅使得沉积层的宽度增大,而减小激光扫描速度也会使得沉积层的高度变低。振镜激光工艺能够加快熔池的冷却速率,减小沉积层二次枝晶展臂间距,同时减少Laves相的含量。激光光束扫描破碎了连续生长的柱状晶,细化沉积层的晶粒。并且振镜激光工艺能够改变晶粒的择优生长方向,减弱织构的取向性。在改变激光能量输出模式下,50k Hz脉冲激光直线扫描使得层间的纤维状柱状晶向等轴晶转变。在力学性能实验中,静止光束试样的位错密度较大,硬度值大,易发生应力集中。而振镜激光工艺能够减少试样中的位错密度,降低应力集中发生的几率。同时振镜激光工艺也能提升试样的抗拉强度与塑性,提高试样的耐磨性。