随着经济社会的飞速发展,不可再生能源日渐枯竭,环境与生存危机也日趋严重,因此,合理高效的开发利用各种绿色环保、多重功能的新能源新材料,提高能源类材料的利用效率,成为2l世纪科学家关注的研究重点和世界各国面临的迫切问题。过渡族金属钼及其氧化物薄膜在太阳能电池材料、光学反射镜材料、锂离子电池材料、高效节能智能窗、敏感元件、催化材料等方面具有潜在的巨大应用价值,并逐步受到关注,但是要实现材料的高效、多重功效的广泛应用,其各方面性能还需要通过更进一步的实验研究来改善。　　本论文就是以尝试性的解决能源类材料领域的迫切问题为出发点,在过往的研究基础上,结合实验室所能实现的技术条件,采用不同的设备和工艺技术制备合成Mo和氧化钼薄膜。获得了呈柱状晶生长模式、具有较高反射率(最大平均反射率为72.3％)、较低电阻率(1.43×10-5Ω·cm)的Mo薄膜,并研究了不同工艺参数对薄膜结构与光学、电学、力学性能的影响,摸索出具备良好光学电学等优异性能的薄膜的制备工艺。同时,制备了具有较高透明度(平均光学透过率最高达86％)的宽禁带(薄膜的光学带隙介于2.995-3.123eV之间)MoO3半导体薄膜,而且薄膜具有良好的光致变色性能,在紫外光的照射下,薄膜表面颜色产生了明显的变化,由开始的透明态转变成褐绿色。变色后的薄膜,在紫外、红外光区段有很高的吸收,具有较高的应用价值。通过研究溅射功率、氧分压、衬底温度、原位退火、反应时间、紫外辐照等工艺参数对MoO3薄膜光学性能的影响,得到了MoO3薄膜的最佳制备工艺参数。　　在此基础上,通过后续的表面改性技术,对MoO3薄膜的表面润湿性能进行了调控,进一步的扩宽其潜在的应用,以期达到优化薄膜性能的目的。重点研究了不同状态薄膜的润湿效果以及结构形貌对润湿性能的影响作用,实现了薄膜亲水-疏水间的润湿转换,并对润湿转换机理进行了解释。　　通过采用化学溶液刻蚀与水热合成两步法,在金属钼的表面原位合成了具有超亲水性能的MoO2晶体膜,实现了钼表面超亲水性能的构筑。研究了反应时间对MoO2晶体膜的结构与形貌的影响,探讨了钼表面所形成的MoO2晶体膜的生长机制、润湿性能及超亲水性能的稳定持久性,并进一步运用理论模型解释了超亲水行为的物理机制。　　通过研究制备与采用表面改性技术辅助材料以特殊润湿性能,以期待丰富和改善钼及氧化钼材料的多重特殊功效应用,这对于钼及其氧化物材料未来应用领域的拓展具有重要的现实意义。