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触针扫描形貌测量仪由于具有测量范围大、精度高、可靠性高等优点,且能够对表面轮廓和表面形貌进行综合测量,是应用最为广泛的表面形貌测量仪器之一。电路系统承担着传感器信号调理、数据采集、数据存储、数据传输、运动控制等重任,是仪器重要的组成部分之一。本文围绕区域法触针扫描形貌测量仪,研究设计了一套集信号调理、数据采集、运动控制功能于一体的电路系统,主要研究工作如下:(1)针对区域法触针扫描形貌测量仪多轴运动控制、多传感信号采集、测速要求高、数据传输量大的特点,充分利用FPGA硬件并行执行在高速数据采集上的优