有机半导体器件一直是微电子学领域的研究热点,新的研究成果不断涌现。而其中有机场效应晶体管由于其具备可弯曲、可大面积制备、成本低廉、制备工艺简单等优点,具有广阔的应用前景。光敏有机场效应晶体管作为有机场效晶体管的重要分支,因其有作为新型光电探测器的潜力,而受到广泛关注和研究。同时,对于有机半导体材料以及有机半导体器件结构的研究也成为提高光敏有机场效应晶体管性能的重要方向之一。TiOPc是一种载流子迁移率较高的半导体材料,且在近红外区域有很强的吸收。本文首先利用Ti OPc作为光敏层,制备了单层Ti OPc光敏有机场效应管,并对其衬底温度进行优化。实验结果显示:随着衬底温度(Tsub)增加,器件载流子迁移率(μ)、光暗电流比(P)和光响应度(R)先增加后减小,在Tsub=140℃时达到最大。Tsub=140℃的ITO衬底器件,在波长808nm,光功率密度190 m W cm2?的近红外光照下,最大载流子迁移率达到1.35×10-2 cm2V-1s-1,最大光暗电流比为250,栅压为-50V时的最大光响应度为1.51 m A/W。然后利用Ti OPc作为传输层,制备了C60/Ti OPc光敏有机场效应管和Pb Pc/Ti OPc光敏有机场效应管,与现有工作进行对比。实验结果显示:C60/Ti OPc光敏有机场效应管的载流子迁移率远远高于C60/Pb Pc光敏有机场效应管,Pb Pc/Ti OPc光敏有机场效应管的载流子迁移率高于Pb Pc/并五苯一倍以上,也远远大于单层Pb Pc光敏有机场效应管的载流子迁移率。