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该论文对Si基Si<,1-x-y>Ge<,x>C<,y>近红外探测器进行了材料和器件结构的设计,研制出三种结构性能优良的Si基Si<1-x-y>Ge<,x>C<,y>体系近红外p-i-n探测器:能隙梯度渐变SiGe/Si探测器、SiGeC/Si探测器和富GeSiGe/Si探测器.
Si基Si<,1-x-y>Ge<,x>C<,Y>体系近红外探测器的研究
【摘 要】
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该论文对Si基SiGeC近红外探测器进行了材料和器件结构的设计,研制出三种结构性能优良的Si基SiGeC体系近红外p-i-n探测器:能隙梯度渐变SiGe/Si探测器、SiGeC/Si探测器和富GeSi
【机 构】
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南京大学
【出 处】
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南京大学
【发表日期】
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2000年期
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