【摘 要】
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随着信息科学技术的飞速发展,人类生活和生产对信息的需求呈爆炸式增长。面对如此庞大的信息量,传统的“电互连”已无法胜任,所以人们将目光转移到“光互连”上。但是,传统的光子器件受限于衍射极限,在器件尺寸和运行速度上和半导体集成电路不匹配,导致无法满足光子电路高集成度的需求。表面等离激元(Surface Plasmon Polariton,SPP)能突破衍射极限,还能在亚波长范围内引导和操纵光,有利于实
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随着信息科学技术的飞速发展,人类生活和生产对信息的需求呈爆炸式增长。面对如此庞大的信息量,传统的“电互连”已无法胜任,所以人们将目光转移到“光互连”上。但是,传统的光子器件受限于衍射极限,在器件尺寸和运行速度上和半导体集成电路不匹配,导致无法满足光子电路高集成度的需求。表面等离激元(Surface Plasmon Polariton,SPP)能突破衍射极限,还能在亚波长范围内引导和操纵光,有利于实现光子集成电路的高集成度。但是基于金属表面等离子体激元波导(Surface Plasmon Waveguide,SPWG)的光子器件必然存在较大的欧姆损耗,这将严重制约SPP在各个领域的应用。目前,解决SPWG高损耗问题的主要方案是设计特殊结构、加入增益介质、引入新的激发材料以及设计混合SPWG结构等。近年来,石墨烯作为一种新兴的二维材料,凭借着在热力学和光电学方面的优异表现,引起了人们极大的兴趣。石墨烯支持太赫兹和红外波段的表面等离子体激元,具有更强的模限制能力和相对较小的传输损耗,可以实现光子器件的微型化。特别是石墨烯可以通过化学掺杂或着外电路电压实现主动可调谐功能,故基于石墨烯的SPWG被广泛应用于微型化的可调谐光子器件。本论文中,将石墨烯与SPP相结合应用于光电调制器的设计中,主要做了以下研究工作:1.提出了一种基于石墨烯-偏置纳米线全介质SPWG的光电调制器,该调制器由偏置双硅纳米线、双层石墨烯以及四周的二氧化硅波导构成。由于石墨烯可以激发SPP,通过使用传播损耗较低的硅材料,不仅可以增长石墨烯与模式之间的作用长度,还可以克服SPP模式的高损耗问题。同时,纳米线具有很强的横向电场束缚能力,混合模式被紧紧地束缚在硅纳米线之间。通过纳米线的偏移使平行于石墨烯的电场增加,从而增强了模场调制效果。仿真结果表明,该结构具有较高的调制深度(>0.13 d B/μm),能够覆盖S、C和L波段,占用空间为5.6μm~2,3-d B带宽为55.7 GHz,功耗为28.6 f J/bit。2.提出了一种基于石墨烯-偏置纳米线混合SPWG的光电调制器,该调制器主要由双层石墨烯、石墨烯之间的银纳米线、石墨烯两边的两根圆形硅纳米线以及四周的二氧化硅组成,波导结构因为银纳米线的加入变为混合SPWG。因为混合SPWG具有更强的模式局域能力,较低的传输损耗,基于石墨烯的混合SPWG制备出的光电调制器具有很强的模式束缚能力、较低的传输损耗以及优异的调制性能。模拟结果表明,所设计的调制器在1550 nm的工作波长下可以实现较为出色的调制性能,其3-d B调制带宽高达250 GHz,调制深度和功耗分别高于0.15 d B/μm和低于11.5 f J/bit。本论文所提出的石墨烯光电调制器具有较低的传播损耗和优秀的调制性能,可以为未来高集成度光子电路光电调制器件的开发提供一定的理论指导。
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