离子束辅助真空电弧沉积TiN/CNx薄膜的研究

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【摘要】

：

本文研究了采用钛/石墨复合靶和钛/甲烷/氮气真空电弧沉积法,利用Bulat-6多弧离子镀膜机在不同的工艺参数下制备了TiN/CNx复合薄膜,并用X射线衍射仪、扫描电子显微镜对薄膜进行了结构和形貌表征,用显微硬度计、摩擦磨损实验仪对薄膜的性能进行了检测;分析了离子束加速电压、离子束流、氮气压力及靶材成份对钛/石墨复合靶工艺制备TiN/CNx薄膜的组织结构、表面断面形貌、显微硬度和摩擦磨损性能的影响;

【作者】

：

余东海

【机构】

：

广东工业大学

【发表日期】

：

2005年01期

【关键词】

：

多弧离子镀 CNx薄膜 TiN/CNx薄膜硬质薄膜离子束辅助沉积

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