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非平衡态就是指系统各部分物理性质(如流速、温度、密度)不均匀的现象。本文中的非衡态主要是指薄膜生长的过程是不平衡的,薄膜在生长过程中,各种粒子之间的相互碰撞、粒子与基板碰撞发生反射、吸附及在基板上的形核与生长、岛形合成、合并与生长最后形成连续的膜层都可以看成是在非平衡态下进行的。近些年来,薄膜材料与薄膜技术得到迅速发展,各类新型薄膜材料大量涌现,薄膜制作和微细加工工艺也在不断创新。在众多的薄膜材料中,ZnO薄膜材料的应用非常广泛。ZnO是一种优良的宽带隙ⅡⅥ族n型半导体材料,其激子结合能高达60Me