随着材料科学的发展日新月异,纳米物质在材料领域的应用愈加广泛。由于纳米材料具有突出的表面效应、小尺寸效应和量子限域效应,因而纳米材料具有异于普通材料的光、电、磁、热、力学、机械等性能,可提高材料的强度、硬度,改变材料颜色、增强材料磁性等。所以纳米材料在力学、磁学、电学、热学、光学和生命科学都有广泛的应用,显示出巨大的优越性。因此,对于纳米材料的分析研究就逐渐成为分析领域的热点。电子显微学技术可以对纳米材料的微区结构以及成分进行分析表征,现在采用扫描电子显微镜-能谱仪(SEM-EDS)联用技术作为一种主要的测试方法。对于纳米材料的形貌结构表征,当今的电子显微镜的分辨率都可以达到纳米级的要求,但就其成分分析而言,由于特征X射线的能量高,所以当今能谱技术的分辨率一般只能达到130eV左右,对于纳米材料的分析在空间分辨率和能量分辨率上都存在局限,从而会对诸如定性定量分析、元素分布分析这样的传统分析方法结果造成偏差。传统能谱分析方法都不可避免的会受到来自叠加样品特征X射线以及基底材料特征X射线的干扰,从而最终影响实验结果。为了克服能谱分辨率不足的问题,本论文采用了覆碳膜打孔碳棒这一装置,将分散好的混合纳米颗粒附载在其碳膜上,进行能谱分析。通过纳米材料在硅片及普通碳棒能谱实验的对比,附加了覆碳膜打孔碳棒对于纳米混合材料的能谱分析有很大的帮助,其空间分辨率较以往常规实验都有了很大提高。这种方法的优点是纳米级的碳膜很薄,大大降低了电子束在样品内部的作用范围,减小了元素特征X射线的出射体积。同时碳孔吸收了多余的电子束,降低了基底特征X射线的干扰;另外,分散为单层的纳米颗粒样品,没有叠加元素的干扰,使其分辨率得到改善：