基于双等离子源的离子束和纳米微结构相互作用平台的测试

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等离子体是由原子或原子团被电离后的产生的正负离子与自由电子所组成的离子化气体状物质,与固态、液态、气态并成为物质的四种形态。离子源是对可以产生等离子体设备的统称,其在核物理、材料物理、医学与考古学等众多领域都有良好的应用价值与前景。本论文中所作的工作基于兰州大学串列实验室中针对低能区下导向效应实验所自主设计搭建的双等离子体离子源,论文中主要工作包括:(1)双等离子体离子源平台的搭建与使用。其中包括离子源各部件的组装,所使用电源与双等源各部分的连接,与搭建完成后最为合理的操作流程。(2)双等离子源的参数测试,包括离子源工作状态下灯丝的使用状况,起弧状态下弧压电源的参数与注气状态的匹配,内部线圈磁场的合理调整。(3)基于COMSOL Multiphysics软件对LDY-15双等离子体离子源工作状态下的内部电磁场分布与束流引出进行了模拟,得到了定量化的结果,对双等源的使用提供了参考。(4)在不同工作气体下对双等离子源所引出的束流进行分析。(5)使用双等源所引出的Ar~+离子进行穿越方形玻璃直管的实验,研究Ar~+离子出射后的角分布与束斑形状和时间与倾角α的关系。
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