在集成电路制造装备的研究、开发和测试工作中，功能仿真扮演了重要的角色。一方面，面对各种系统控制软件，需要先进的功能仿真系统。另一方面，由于集成电路制造装备研发本身的复杂性，对更多的理论研究不断提出新要求，而这些要求需要借助仿真工具。仿真平台的使用，能够准确测试设备控制系统软件，减少集成电路制造装备的研发成本，缩短开发周期。　　 大部分的设备控制软件在进行测试时，首先需要在仿真环境下进行验证，单纯为某一个项目开发硬件测试平台不仅耗时过大而且可重用性很差。目前国内还不存在兼顾物理气象积淀(PVD)设备在内的集成电路制造装备的通用功能仿真平台，也不能够做到经过配置可适用于不同的IC制造装备的设备级功能逻辑的仿真。在对国内外集成电路制造装备功能仿真系统深入研究的基础上，本文提出了一种通用的功能仿真系统结构，用可配置的方式，将抽象的集成电路制造装备实际功能形象化，使之具有兼容性和通用性。　　 在此基础上本文详细阐述了集成电路制造装备功能仿真系统的设计方法和实现：首先完成了功能仿真系统的硬件设计，实现了一套可组装式的电路装置，满足支持多种通信协议的多个数据采集卡间通信的需求，解决在数据采集卡间通信回路中施加电压的困难，并避免使用端子板来减小数据采集卡间通信线路复杂、易出错的问题。同时，利用面向对象的方法分析仿真系统，并用面向对象软件设计有效地实现了功能仿真系统的软件设计，从协议、设备、系统三个层次实现了对于装备相关功能、状态变化、耦合关系、协议实现等方面的仿真，为实际控制系统的应用测试提供了一套完整的可配置功能仿真软件平台。　　 最后，将整套系统应用于实际的控制系统连接中，并配合测试工程师进行了初步的测试工作，可以实现对集成电路装备进行灵活配置，在运行中进行各种参数的采集、记录和显示，验证了系统的稳定性和可行性。